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最初的真空計是由托里拆利制作的一端封閉充滿水銀的細(xì)長玻璃管發(fā)明的。根據(jù)測量的真空度范圍和使用環(huán)境，現(xiàn)在最常使用的真空計有電容式隔膜真空計、熱電偶真空計、熱陰極電離真空計和冷陰極電離真空計。


 
　　這幾種真空計利用了不同的物理現(xiàn)象，其中電容式隔膜真空計利用的是力，熱電偶真空計利用的是熱傳導(dǎo)，電離真空計利用的是真空放電。


　　選用真空計時應(yīng)該注意以下事項：


　　一：在設(shè)備要求的壓強(qiáng)范圍內(nèi)，真空計是否有足夠的測量精度；


　　二：被測氣體是否會對真空計造成損傷；


　　三：真空計是否會對被測真空環(huán)境造成影響；


　　四：真空計所測壓強(qiáng)是全壓還是分壓，是否已校準(zhǔn)，是否與氣體種類有關(guān)；


　　五：真空計能否實現(xiàn)連續(xù)測量，數(shù)值指示及反應(yīng)時間如何；


　　六：真空計的穩(wěn)定性、可靠性、壽命。